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FreeDATA

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Sobre FreeDATA

Pacote de análise de dados de microlithografia capaz de ajustar conjuntos de dados do tipo Bossung, também conhecidos como matrizes de exposição ao foco. Palavras-chave: Litografia, Fotolithografia, Fotoresist, Janela do Processo, Dimensão Crítica, CD, Bossung, FEM

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